儀器是基于全反射X射線熒光光譜技術(shù)(TXRF)，它通過使用高亮度微焦斑固定靶點(diǎn)光源產(chǎn)生一道X光束，并利用真空正交背靠背X射線人工多層反射聚焦鏡，對X射線二次反射，將光束的能量范圍縮減至非常窄，這道非常細(xì)的光束會以極小的角度(小于0.1°）照射在一個(gè)平整的樣品載體上，并且完全被反射出來，而樣品會發(fā)出特征熒光，并通過能量色散型X光探測器進(jìn)行測量，由于探測器與樣品載體的距離很短，因此熒光的探測效率非常高，還降低了空氣對X光的吸收。

TXRF與傳統(tǒng)XRF光譜儀的主要區(qū)別在于其使用了單一波長的輻射和全反射式的光學(xué)設(shè)計(jì)，使用全反射式光束照射樣品，可以減少光束在樣品本體中的吸收和散射，顯著提高熒光效率、減少大部分背景噪聲，從而使含量非常低的元素具有更高的檢測靈敏度。