簡介
透明導(dǎo)電氧化物薄膜(TCO)是指一類具有高導(dǎo)電性、在可見光范圍內(nèi)并具有很高透明度的重要光電材料。在自然界中，透明的物質(zhì)通常不導(dǎo)電(如玻璃、水晶等)，而具有導(dǎo)電性或者導(dǎo)電性良好的物質(zhì)又往往是不透明的(如金屬材料、石墨等)。透明導(dǎo)電氧化 物薄膜打破了傳統(tǒng)的觀念，將透明度與導(dǎo)電性能相結(jié)合，成為功能薄膜材料中具有特色的一類薄膜，常見的TCO薄膜主要分為ITO薄膜、AZO薄膜、FTO薄膜、ATO薄膜等，目前已在光伏電池組件、平面顯示器、觸控面板、發(fā)光二極管(LEDs)、氣敏傳感器等不同領(lǐng)域獲得了廣泛的應(yīng)用。
TCO薄膜表征分析
TCO薄膜的物相結(jié)構(gòu)對其產(chǎn)品質(zhì)量具有決定性作用。通過物相分析，我們可以深入了解TCO薄膜的晶體結(jié)構(gòu)、晶格參數(shù)、晶粒大小以及晶體生長的擇優(yōu)取向等關(guān)鍵特性，這些特性與薄膜的光電性能如透明度、導(dǎo)電能力和長期穩(wěn)定性緊密相關(guān)。
X射線衍射（XRD）技術(shù)是分析TCO薄膜的關(guān)鍵工具，它能夠提供關(guān)于薄膜晶體結(jié)構(gòu)和微觀結(jié)構(gòu)的詳盡信息。XRD分析得到的晶格參數(shù)、晶粒尺寸和擇優(yōu)取向等數(shù)據(jù)，對于FTO薄膜的光電行為和提高其性能穩(wěn)定性極為重要。通過這些分析，研究人員能夠優(yōu)化TCO薄膜的制備工藝，從而提升其在各種應(yīng)用中的性能表現(xiàn)。
鑒定TCO薄膜的晶體結(jié)構(gòu)和物相組成。通過分析XRD圖譜中的衍射峰，可以確定FTO薄膜是否為金紅石結(jié)構(gòu)以及是否存在其他相，如四方相或立方相。這些信息有助于了解薄膜的晶體質(zhì)量，進(jìn)而影響其導(dǎo)電性和透明度。
檢測TCO薄膜的晶格參數(shù)，包括晶格常數(shù)和晶面間距。這些參數(shù)的變化可能與薄膜生長過程中的應(yīng)力狀態(tài)有關(guān)，從而影響薄膜的電子特性和機(jī)械穩(wěn)定性。
評估TCO薄膜的晶粒尺寸和晶體取向。通過Scherrer公式，可以從衍射峰的寬度計算晶粒尺寸，而衍射峰的相對強(qiáng)度則可以提供晶體擇優(yōu)取向的信息。這些數(shù)據(jù)對于優(yōu)化薄膜的制備工藝和提高其性能具有重要意義。
應(yīng)用案例
本實(shí)驗(yàn)采用蘇州浪聲科學(xué)儀器有限公司的界FRINGE桌面式X射線衍射儀對某公司提供的TCO薄膜樣品的物相結(jié)構(gòu)進(jìn)行了表征。
（1）制樣
（2）測試參數(shù)設(shè)置
| 儀器型號：界FRINGE | 靶材：Cu靶 |
| 掃描模式：掠入射掃描 | 入射角度：2° |
| 角度范圍：10~70° | 步進(jìn)角度：0.05°/step |
| 管壓、管流：30kV 20 mA | 積分時間：600 ms/step |
（3）測試結(jié)果與結(jié)論
樣品衍射圖譜
經(jīng)過GIXRD測試，判定該薄膜樣品為FTO（SnO2:F）薄膜，且存在（200）擇優(yōu)取向。FTO（SnO2:F）薄膜是氟摻雜的二氧化錫(Fluorine-doped Tin Oxide)的簡稱，是一種寬禁帶半導(dǎo)體材料，其主要成分為SnO2，并摻雜了氟元素F。FTO薄膜具有優(yōu)異的透明性和導(dǎo)電性，這是因?yàn)榉犹娲瞬糠值难踉?，形成了SnO2?xFx結(jié)構(gòu)，從而調(diào)節(jié)了材料的禁帶寬度和載流子濃度，使得薄膜既透明又導(dǎo)電。FTO薄膜通常呈現(xiàn)四方金紅石型結(jié)構(gòu)，具有高載流子濃度和低電阻率的特性。
SnO2單胞結(jié)構(gòu)
引用文獻(xiàn)：
樊琳, 許珂敬, 史曉慧, 賈雨輝, 張衡, 魏春城. 不同氟源對FTO薄膜性能影響及其作用機(jī)理. 材料工程, 2018, 46(9): 59-64.
